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- 发布时间:2019-08-10 00:00:00
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山东联盛电子设备有限公司,成立于2014年5月,坐落于聊城市高唐经济开发区,是集半导体芯片湿制程专业的设备的生产、研发、销售、服务于一体的高新技术企业。公司已经和山东大学微电子学院清洗技术中心加强产学研合作,共同深度研发清洗技术。公司目前已申请国家专利30多项,其中发明专利6项,并建立了省级企业技术中心,省级高新技术企业,市级半导体设备研发中心,申请通过ISO9001质量体系认证,ISO14001质量环境体系认证,半导体SEMI-S2专业认证。涉及行业有半导体IC,MOS功率器件,MEMS, SOI, GaAs, GPP,SIC,CaN芯片,LED,光伏,半导体陶瓷基片,半导体玻璃基片等行业 。主要设备有:全自动RCA清洗机、全自动镀镍镀金清洗机、全自动扩散清洗机(磷扩,硼扩)、全自动沟槽蚀刻机、全自动二氧化硅蚀刻、炉管清洗机、CDS(SDS)系统,B Clean、Oxide Remove、 Nitride Remove、 PR Strip、lift off、 ParticleRemove、 Solvent Clean、Wafer Reclaim、 Metal Etch、M2 Clean。
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发布时间:2019-06-26 00:00:00
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