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因为专业,所以优秀 半导体高端湿制程设备工艺方案供应商

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专注、专业、专心为您服务         集成IC,MOS功率器件,MEMS, SOI, GaAs, GPP,SIC,CaN,半导体陶瓷基片,半导体玻璃基片的湿制程设备系列

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CDS供液系统

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产品编号
所属分类
CDS供液系统
数量
-
+
库存:
1
产品描述

1、该系统用于化学品集中和持续的供应。
2、可自动配比,空桶自动切换。
3、运输方便,避免人工输送造成的风险。
4、自动化程度高,操作简单,化学品更换更方便
5、运行可靠,节能效果明显,大大提高工作效率。
6、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI,所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理,电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件;
7、管路施工采用套管方式,杜绝漏液。
8、各种故障检测警报功能:漏液检测,管道压力检测,空桶加测,流量异常检测等等。
9、系统设计标准按电子工厂化学品系统工程技术规范GB 50781-2012执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。 

   

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发布时间:2019-06-26 00:00:00

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