联盛电子

语言：简体中文 | English

全国免费服务专线：0635-2961988

.

.

因为专业，所以优秀 半导体高端湿制程设备工艺方案供应商

因为专业，所以优秀 半导体高端湿制程设备工艺方案供应商

同一个目标携手共进，同一个梦想合作共赢! 加强我们合作，共享发展新机遇！

同一个目标携手共进，同一个梦想合作共赢! 加强我们合作，共享发展新机遇！

专注、专业、专心为您服务 集成IC，MOS功率器件，MEMS, SOI, GaAs, GPP，SIC，CaN，半导体陶瓷基片，半导体玻璃基片的湿制程设备系列

专注、专业、专心为您服务 集成IC，MOS功率器件，MEMS, SOI, GaAs, GPP，SIC，CaN，半导体陶瓷基片，半导体玻璃基片的湿制程设备系列

PREV
NEXT
首页
/
产品中心
/
全自动最终清洗机

产品中心

PRODUCTS CENTER

产品导航
浏览量:
1000

全自动最终清洗机

零售价
0.0
元
市场价
0.0
元
浏览量:
1000
产品编号
所属分类
产品中心
数量
-
+
库存:
0
1
产品描述

主要用于硅材料抛光片最终清洗、外延片清洗工艺，去除晶圆表面颗粒及金属离子。
1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏 。
2、晶圆 Cassette.-less无片盒机械手传输、无片盒承载清洗系统设计技术
3、高效洁争热水慢拉+IR红外干燥技术（或采用Marangnoi效应干燥技术）
4、化学液自动供给系统
5、兆声波循环清洗技术
6、具有MES系统的信息交互、通信能力技术指标
（1)晶圆尺寸:8“兼容6”                        （2)处理量:50片/槽次
（3)溶液温度:50℃～80℃±1℃           （4)兆声清洗:950KHz、2400W
（5)配液精度:≤1％                              （6)颗粒控制:≤20个/片＠0.12μm
（7）≤10个/片＠0.16μm                     （8)金属含量:≤1E10 atoms/cm2
（9)生产效率:≥2750WPH

扫二维码用手机看
未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加
上一个
全自动去边清洗机
下一个
全自动腐蚀机

QQ客服

QQ客服
1923740589

咨询热线

马总 136-7178-8984          186-3659-3909

微信咨询

扫一扫添加
微信

留言板

留言板

TOP

版权信息

发布时间：2019-06-26 00:00:00

© 2019  山东联盛电子设备有限公司    鲁ICP备19035166号

电话：+86-635-2961988   ICP:鲁ICP备19035166号 网站建设：中企动力 济南