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因为专业,所以优秀 半导体高端湿制程设备工艺方案供应商

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专注、专业、专心为您服务         集成IC,MOS功率器件,MEMS, SOI, GaAs, GPP,SIC,CaN,半导体陶瓷基片,半导体玻璃基片的湿制程设备系列

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全自动扩散片清洗机

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全自动扩散片清洗机

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产品描述

1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏 。
2、全自动设计硅片扩散前清洗超声动作 。
3、超声槽带加热提动溢流等功能
4、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI,所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理,电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件;
5、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
6、设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。  

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发布时间:2019-06-26 00:00:00

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