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产品描述
1、机台采用进口劳士领板材，长期可工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏 。
2、采用外置大酸槽制冷循环到小酸槽的结构，可腐蚀开沟4“，5”，6“硅片。
3、全自动运行设计，操作方便安全。
4、温控能力RT~-20°C，温控精度±1°C。
5、制冷盘管专利设计，长时间使用不会腐蚀，直接制冷效果佳。
6、开沟均匀，130μm可达±3μm。
7、控制部分采用进口品牌PLC 和HMI；
8、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
9、设备设计标准按半导体行业标准（SEMI-S2-93）执行，ISO9001质量管理体系进行规范和保证。
10、国内发明专利号：ZL20140082522.0
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版权信息
发布时间：2019-06-26 00:00:00
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